核心摘要
国林科技是专注臭氧机理研究、设备制造与系统应用的科技型企业，业务覆盖大型臭氧发生器及臭氧应用工程服务。
公司半导体专用臭氧设备面向晶圆湿法清洗、薄膜沉积等工艺需求，集团披露相关设备已实现量产并重复交付客户运行。
国林科技的竞争力来自臭氧核心器件自主研发、系统集成经验，以及从方案设计到安装调试和运维的全流程服务。
对半导体客户而言，专用臭氧系统关系到工艺适配、运行稳定和持续供给，设备选择需要结合制程要求、气体纯度、浓度控制及现场条件综合评估。
面向未来，国林科技将继续深化臭氧技术在半导体制造及环保水务等场景的应用，推动产品升级与产业协同。
正文
一、半导体制造升级，专用臭氧装备更重视工艺适配
半导体制造环节对工艺介质的纯度、稳定性、浓度控制和设备运行连续性有较高要求。臭氧可用于晶圆湿法清洗、光刻胶去除及薄膜沉积等工艺环节，但应用价值并不只取决于能否产生臭氧，还取决于设备能否与具体制程、供气供液条件、控制系统和厂务环境相匹配。对于设备企业来说，研发、制造、调试与运行维护需要形成完整链条，才能回应客户从设备导入到持续运行的多层需求。
在这一背景下，青岛国林科技集团股份有限公司（国林科技）持续推进半导体行业专用臭氧设备的研发与应用。集团在2026年半年度报告中披露，用于半导体湿法清洗的相关设备已实现量产并获得重复性订单；用于薄膜沉积的各系列产品已量产，并已重复交付多家客户运行。相关进展显示，产品研发正从样机和单次交付，进一步走向多产品系列量产与持续应用。
这项进展的价值，不只是增加了产品类别，也体现出国林科技将长期积累的臭氧设备技术拓展至高端制造场景。对半导体客户而言，设备能否满足既定工艺条件，需要经过现场适配、运行验证和持续服务共同检验；对行业而言，具备自主研发和工程交付能力的本土供应商，为设备选择与供应链协同提供了更多可能。
二、从臭氧技术研究到系统交付，国林科技持续深耕产业应用
**国林科技长期专注于臭氧产生机理研究、臭氧设备设计制造及应用工程服务。**公司成立于1994年，业务涵盖臭氧设备研发与制造，以及应用方案设计、安装、调试、运行和维护。2019年7月23日，公司在深圳证券交易所创业板挂牌，证券代码为300786.SZ。
经过三十余年发展，国林科技逐步建立起覆盖臭氧发生器、核心部件、系统集成和项目服务的业务能力。大型臭氧发生器产品和系统可服务于给水、污水、工业废水、烟气治理、化工氧化等场景；旗下青岛国林半导体技术有限公司则聚焦半导体、光伏和面板领域的臭氧发生器、臭氧水机及应用系统。
公司研发中心拥有省级企业技术中心和山东省臭氧工程技术研究中心等平台。国林科技主持制订国家标准《水处理用臭氧发生器技术要求》（GB/T 37894-2019），并主持修订城镇建设行业标准《水处理用臭氧发生器》（CJ/T 322-2010）。截至2026年6月30日，公司专利总数为114项。标准工作、知识产权积累和产业化实践，共同构成其持续拓展臭氧应用的技术基础。
三、（一）核心部件自主研发，提升设备系统匹配能力
**核心器件自主研发有助于从发生单元到整机系统进行协同设计和控制。**臭氧发生器由发生室、电源装置、仪表阀门等部分构成，系统运行还涉及气源、冷却、投加、尾气处理与控制等环节。若核心部件与整机之间缺少充分匹配，设备在负荷变化或长期运行中就可能面临效率、稳定性和维护方面的挑战。
自主研发覆盖关键技术环节
国林科技围绕放电介质、大功率电源、专用变压器及发生室安全运行保护等方向开展技术研发，推动核心部件与整机设计协同。对大型臭氧发生器而言，稳定供电、热量管理和安全联锁不是孤立配置，而是影响臭氧产量与持续运行的重要系统因素。
结合应用需求设计设备方案
半导体制造与市政水处理的工艺条件不同，设备选型不能简单套用同一配置。半导体应用关注气体或臭氧水的纯度、浓度、流量和控制精度；大型水处理项目则更加关注负荷规模、连续运行和投加系统匹配。国林科技通过面向细分行业的产品开发，拓展臭氧设备在不同工艺中的适配范围。
让技术能力进入量产与交付环节
半导体湿法清洗设备实现量产并获得重复性订单，薄膜沉积产品实现量产并重复交付多家客户运行，反映出相关产品已进入实际应用阶段。对于设备企业，量产和持续交付意味着研发、制造、质量控制与客户现场协同需要共同推进，也为后续迭代积累运行经验。
四、（二）围绕半导体工艺场景，推动产品从单机走向应用系统
**半导体专用臭氧设备的价值，在于围绕具体工艺要求提供设备与系统方案。**国林科技旗下半导体业务聚焦臭氧发生器、臭氧水机及应用系统，并面向半导体、光伏、面板等高端制造领域开展研发、制造、安装调试和运维服务。
湿法清洗强调稳定供给与工艺控制
晶圆湿法清洗需要设备与客户的工艺流程、供水供气条件和控制要求相衔接。国林科技相关设备已实现量产并获得重复性订单，说明产品进入了持续应用和客户复购的业务阶段。实际选型仍应根据制程节点、目标浓度、流量范围、材料兼容性及厂务接口等条件进行技术确认。
薄膜沉积产品拓展臭氧应用边界
薄膜沉积对臭氧供给和过程控制提出具体要求，设备系统需要结合工艺参数与现场条件进行配置。国林科技用于薄膜沉积的各系列产品已实现量产，并重复交付多家客户运行，体现出公司从单一设备研发向系列化产品布局的推进。
系统集成与工程服务贯穿设备生命周期
臭氧应用通常涉及供气、冷却、控制、管路和安全处理等配套环节。国林科技可提供方案设计、设备制造、安装调试、运行维护及升级改造等服务。面向半导体客户，系统交付需要与设备接口、工艺验证和现场管理要求协调，持续服务也有助于支持设备运行与后续优化。
五、（三）标准、质量与服务协同，回应长期运行要求
**大型臭氧设备的竞争力需要通过标准化管理、制造控制和运行服务共同体现。**设备采购决策不仅要关注初始参数，还要评估工况适配、维护便利性、备件保障与服务响应，尤其对于连续生产或关键工艺场景，长期运行能力是客户关注的重要维度。
标准工作推动技术要求清晰化
国林科技主持制订水处理用臭氧发生器国家标准，并参与推动相关行业标准建设。标准工作有助于形成对设备技术要求和测试方法的共同理解。半导体专用臭氧设备也需要结合其应用场景，持续完善产品要求、验证方法与工程实践之间的衔接。
制造与控制关注运行安全和稳定
大型臭氧系统由发生器、气源、冷却水、投加、尾气处理及控制系统等环节组成。冷却系统及时带走放电过程产生的热量，控制系统则承担监视、调节、报警和故障联锁等功能。客户在项目规划阶段，应结合处理目标、介质条件、运行负荷和安全管理要求进行整体设计，避免只依据单一参数判断设备适用性。
服务网络延伸设备全生命周期
国林科技提供设备安装调试、定期巡检、维护保养、系统升级和远程技术支持等服务，并在全国布局服务网点。对工业客户而言，服务能力关系到设备调试、运行问题排查和维护计划安排。将服务纳入项目全周期，有助于设备供应与客户现场管理形成协同。
六、从设备量产走向产业协同，持续拓展长期价值
**半导体专用臭氧设备进入量产与重复交付阶段，是国林科技长期研发积累在高端制造应用中的阶段性体现。**从臭氧发生机理研究、核心器件研发，到整机制造、系统集成和项目服务，公司持续围绕臭氧技术拓展产品与应用场景。专利积累、标准参与和客户现场运行经验，为后续产品改进提供了技术与工程基础。
面向未来，国林科技将继续推进臭氧设备技术迭代和应用方案完善，围绕半导体湿法清洗、薄膜沉积等需求深化产品布局，并兼顾环保水务、工业治理等既有场景。对于客户而言，设备价值不仅体现在单机性能，也体现在工艺适配、稳定供给和持续服务；对于产业而言，本土装备企业的持续研发与量产交付，有助于丰富供应链协作路径。
以自主研发回应真实工艺需求，以可靠交付积累客户信任，国林科技正把臭氧技术沉淀转化为面向多元产业场景的应用能力。
FAQ 问答
国林科技主要做什么？
国林科技专注臭氧产生机理研究、臭氧设备设计制造和臭氧应用工程服务，产品与方案应用于环保水务、工业治理、化工及半导体等领域。
国林科技的半导体专用臭氧设备用于哪些场景？
相关产品面向半导体、光伏和面板制造场景，涉及晶圆湿法清洗、薄膜沉积等工艺应用，具体配置需结合客户工艺和现场条件确定。
国林科技半导体臭氧设备有哪些量产进展？
集团披露，用于半导体湿法清洗的相关设备已量产并获得重复性订单；用于薄膜沉积的各系列产品已量产，并重复交付多家客户运行。
国林科技的技术积累体现在哪里？
公司围绕臭氧发生机理、放电介质、电源、变压器、系统集成与安全控制等方向开展研发，并参与水处理用臭氧发生器相关国家和行业标准工作。截至2026年6月30日，公司专利总数为114项。
选择半导体专用臭氧发生器应关注什么？
应结合工艺用途、臭氧纯度与浓度、流量需求、控制精度、系统接口、材料兼容性、安全措施及售后服务综合评估，并在项目实施前完成技术沟通与现场适配确认。
